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功能描述:实现水平X-Y轴、回转R轴微动调节;
产品特点:高刚性、高精度;
系列化:行程覆盖±5~±30 mm、±5 ~±15°.
| CE-IA-XYθ型微动平台 | ||||
| 序号 | 模块 | 功能点 | 关键参数/配置 | |
| 1 | 系统参数 | 台面尺寸 | – | |
| 2 | 作动行程/角度 | ±5~±30mm | ±5~±15° | |
| 3 | 作动速度 | 5mm/s~20mm/s | 10%/s~30°/s | |
| 4 | 重复定位精度 | ±1um | ±0.005° | |
| 5 | 回程误差 | ±3um~±8um | 0.025° | |
| 6 | 平面度 | 10um~20um | ||
| 7 | 载荷 | 2~30kg | ||
| 8 | 典型配置 | 丝杆 | C0~C5 | |
| 9 | 导轨 | 防蠕动交叉滚子导轨 | ||
| 10 | 传感器 | 限位开关/磁栅尺 | ||
| 11 | 电机 | 交流伺服/步进伺服/步进 | ||
